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XSECS
概要
 Semiconductor Equipment Communications Standard:半導体製造装置通信スタンダードの略。
インテリジェント装置とホスト間で交換するメッセージの詳細定義に基づきソフトウェアを実装します。本ソフトウェアはGEM(Generic Equipment Model:製造装置の通信及びコントロールの為の包括的モデル)に対応するものでイベントなどを中心に実装してあります。
解説
応用
SEMI®OnLine (Semiconductor Equipment and Materials International)
SEMI International Standards "JAPAN STANDARDS NEWS"
応用
 外部とのインターフェースを持つほとんどの製造装置に組み込み可能です。
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株式会社アクト 〒601 京都市南区西九条御幸田町30 TEL075-671-9873 FAX075-671-7556
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