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IT関連の事業化テーマ
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企業名
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株式会社ケミカルソフト開発研究所
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| シーズ |
2-メチル-2-アダマンチルメタクレリートの事業化 |
| 分野 |
その他(レジスト素材) |
| 内容 |
2001年度から数100�圓亮�要が発生しはじめており、2002年・2003年度からはトンを超す需要が高い角度で見込まれている上記化合物の量産化を推進中。2-エチルの類縁体も併せて検討中。 |
| キーワード |
ArF、レジスト、193ナノメートル、アダマンタン |
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| シーズ |
メバロラクトンメタクレリートの事業化 |
| 分野 |
その他(レジスト素材) |
| 内容 |
2001年度から数10�圓亮�要が発生しはじめており、2002年・2003年度からはトンを超す需要も見込まれている上記化合物の量産化を推進中。 |
| キーワード |
ArF、レジスト、193ナノメートル、メバロラクトン |
